新知新創：國產離子注入機
【明報專訊】離子注入機、光刻機、刻蝕機、鍍膜機是製造晶片（內地稱芯片）的必要裝備，相關技術長期被國外企業壟斷，如只有荷蘭企業ASML可製造極紫外光刻機（EUV）。中國近年積極研發晶片製造「四大機器」，其中國產離子注入機已實現28納米工藝製程全覆蓋。
新知新創：國產離子注入機
【明報專訊】離子注入機、光刻機、刻蝕機、鍍膜機是製造晶片（內地稱芯片）的必要裝備，相關技術長期被國外企業壟斷，如只有荷蘭企業ASML可製造極紫外光刻機（EUV）。中國近年積極研發晶片製造「四大機器」，其中國產離子注入機已實現28納米工藝製程全覆蓋。
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